2018年1月31日,由江苏无锡华润上华科技有限公司与北京大学、东南大学、江苏物联网研究发展中心、中科院上海微系统所等8家单位联合承担的国家02科技重大专项 “集成电路与传感器集成制造与生产技术” 项目(简称“MEMS专项”)在无锡华润微电子通过项目正式验收。    MEMS专项的主要研究任务和目标是重点开展集成电路与传感器集成制造(包括芯片与MEMS制造和系统封装)技术研发,解决并掌握与CMOS工艺线兼容的MEMS规模制造的系列关键

2018-02-09 08:42:08 · 中国仪表网 阅读:251
  2018年1月31日,由江苏无锡华润上华科技有限公司与北京大学、东南大学、江苏物联网研究发展中心、中科院上海微系统所等8家单位联合承担的国家02科技重大专项 “集成电路与传感器集成制造与生产技术” 项目(简称“MEMS专项”)在无锡华润微电子通过项目正式验收。    MEMS专项的主要研究任务和目标是重点开展集成电路与传感器集成制造(包括芯片与MEMS制造和系统封装)技术研发,解决并掌握与CMOS工艺线兼容的MEMS规模制造的系列关键
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